MEMSウエハーを乾燥させる際には、細心の注意が必要です。液体をすばやく除去する必要がありますが、力を入れすぎると、微細で繊細な微細構造が破壊されてしまいます。
長い間、人々は大きな対流式オーブンを使ってきました。しかし正直、薄いウエハーを乾燥させるために大量の空気を加熱するのは無駄です。そこで私たちは短波長のIR加熱ランプに切り替えました。これにより、より効率的に作業でき、クリーンルームの二酸化炭素排出量も減少します。
重要な場所に熱を届ける IRの良い点は、パワー密度が高いことです。チャンバ全体を温める代わりに、エネルギーをウエハー表面に直接当てます。数秒で蒸発の閾値に達します。もう、周囲の空気を温めるためにキロワット単位の電力を無駄にすることはありません。サイクルタイムが短縮され、1枚あたりの電気代も大幅に削減されます。本当に効率的です。
加熱の背後にある技術 私たちは高純度の石英製のケースを使用しています。これにより、UV-IR光が遮られずに通過できます。しかし、すべてのウエハーが同じわけではありません。使用するウエハーに応じて、ランプに特定のコーティングを施し、放射スペクトルを調整します。これにより、ウエハーが焼けることなく残留物を蒸発させることができます。
また、標準的な工業用コネクタも使用しています。メンテナンス時に配線を再接続するのは面倒です。これらは簡単に取り付け替えられます。
注意点とその対処法 短波長のIRも万能ではありません。強力な力を持っているからこそ、適切な操作が求められます。コンベヤーの速度やランプの高さを正確に設定する必要があります。ウエハーがランプの下に数秒でも長く留まってしまうと、熱ストレスや変形が起こります。PLCのロジックも正確でなければ、センサーが故障してしまいます。
「グリーンファクトリー」への移行は単なる流行語ではありません。それは、エネルギーを多く消費する強制送風式ヒーターを排除することです。これにより、機器のサイズが小さくなり、CO2排出量も大幅に削減されます。これはワークフローにとっても、地球環境にとっても有益です。