安全を確保するために：化学洗浄エリアでの赤外線ヒーターの使用法
半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その雰囲気がわかるでしょう。すべてが清潔ですが、洗浄に使われる化学薬品は多くが揮発性が高く、正直、危険なものです。このような場所に赤外線ヒーターを設置すると、燃焼しやすい蒸気が充満している部屋に熱源を持ち込むことになります。一度でも電気的な問題が起きたり、部品が過度に加熱されたりすると、大きな問題につながります。
「しっかり密封する」というアプローチ 私たちは、単にヒーターを箱に入れて終わりにするわけではありません。そうすると事故が起きてしまいます。代わりに、すべてを密封された、防爆性のあるケースで覆います。 高品質の石英製のケースを使用し、厳しい化学薬品にも耐えられる特別なコーティングを施しています。目的は簡単です。蒸気を外部に漏れ出さないことです。たとえヒーターが壊れても、密封が保たれているため、内部のフィラメントが周囲の空気に触れることはありません。 また、配線が通る部分には特殊なガスケットや火災防止機能を備えたシールを使用します。これにより、「高温領域」と「蒸気領域」が完全に分離されます。
安定性を保つ（そして清潔を維持する） クリーンルームでは、「安定性」とは「環境を乱さない」という意味です。私たちは、ヒーターから何かが放出されて作業環境が汚染されないように注意します。腐食を防ぐために、金メッキや高ニッケル製のコネクタを使用します。これにより、より長期間にわたって正常に動作します。 また、高出力の赤外線ヒーターは非常に高温になります。もしトロリーの枠がそのような熱負荷に耐えられない場合、金属が変形したり、最悪の場合は火災警報が作動し、フロア全体が停止してしまいます。私たちは、ウェハーが適切な温度になるように、出力を調整するために多くの時間を費やしています。
妥協点 正直に言って、このレベルの安全性を得るためには、少しの犠牲が必要です。 保護用のガラスやケースのおかげで、赤外線の効率が少し低下します。一部の赤外線が目標物に到達する前に吸収されてしまいます。 そのため、必要な温度に到達するために、出力を上げたり、ヒーターを少し近づけたりする必要があります。しかし、PIDコントローラーを正しく調整すれば、システムは正常に動作します。そうすれば、洗浄エリアでの火災の心配なしに、必要な熱を得ることができます。