なぜ強制送風式ではなく、IR加熱方式を採用するのか？ 強制送風式の仕組みを考えてみましょう。要するに、まず空気という「仲介者」を加熱し、そのエネルギーをウェーハや基板に伝えようとするわけです。問題は、これが非常に遅いということです。半導体加工の世界では、この遅さは無駄な時間となってしまいます。 だ...

リソグラフィーの工程では、わずか0.5度程度の温度変動でもすぐに問題が発生します。つまり、線幅のばらつきや歩留まりの低下が起こります。目標値を達成しようとしても、ウェーハ全体の均一性を保つのは難しく、また微粒子の発生によってクリーンルーム内の環境も悪化します。一方、線形赤外線加熱器は、これらの問題...