MEMSウエハーを乾燥させる際には、細心の注意が必要です。液体をすばやく除去する必要がありますが、力を入れすぎると、微細で繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 長い間、人々は大きな対流式オーブンを使ってきました。しかし正直、薄いウエハーを乾燥させるために大量の空気を加熱するのは無駄です。そこで私...

ウェーハ乾燥用ランプ：長期間にわたって安定して使用でき、必要な時にはサポートが受けられる 私たちがこのウェーハ乾燥用ランプを製造するのは、ショールーム用としてではありません。これらは実際の生産現場向けに作られているのです。そこでは停止時間がコストに直結し、適切な温度管理が求められます。つまり、一貫...

ファブの現場では、わずかな水分やフォトレジストの欠陥が、一括してウェーハ全体の品質を損なってしまうことがあります。熱処理の段階で、どれだけ品質が維持されるかが決まります。私たちは、ウェーハの乾燥やフォトレジストのソフトベイク、ハードベイクにおいて、リソグラフィーに求められる安定した温度制御を実現す...

ファブ内における乾燥工程の重要性 乾燥は単なるチェック項目ではない。歩留まりを確定させる直前の最後の熱処理であり、その後の工程の見通しを決定づける。ホットゾーンがずれたりエネルギープロファイルが制御されていないとすぐにわかる。エッジビードが発生し、トラック内に溶剤が残留し、フォトレジストの表皮がハ...