水素センサーを正しく作るために：なぜIR硬化法を使うのか 水素センサーを製造する際には、微妙なバランスが求められます。導電性インクや接着剤を硬化させるためには十分な熱が必要ですが、過度に加熱しすぎると、センサーメンブレンが壊れてしまいます。つまり、極めて繊細なバランスが必要なのです。 そのため、私...

揮発性化学物質を加熱する際の安全対策 ウェーハ洗浄ラインを運用している方なら、危険な化学物質の蒸気を扱っていることはご存知でしょう。そこに高温のIRランプを加えるとどうなるでしょうか？それは大惨事を招く結果になります。 だからこそ、私たちは単にランプを作るだけではありません。IRシステムを構築する...

MEMSウエハーを乾燥させる際には、細心の注意が必要です。液体をすばやく除去する必要がありますが、力を入れすぎると、微細で繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 長い間、人々は大きな対流式オーブンを使ってきました。しかし正直、薄いウエハーを乾燥させるために大量の空気を加熱するのは無駄です。そこで私...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために シリコンウエハを加熱する際、単に温度を上げるだけでは不十分です。クラス100の環境では、ほんの小さなほこりの粒子でさえも、まるで手榴弾のような存在です。それによって、数秒で大量のチップが破壊されてしまいます。 そのため、私たちは従来の抵抗...

化学洗浄用の装置について心配するのはやめましょう。 正直に言って、化学薬品を加熱するのは非常に危険な作業です。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気を扱う際には、普通の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険な存在です。わずかな火花やクォーツ管のわずかな亀裂があれば、大惨事につながります。 そこで私たちは...