なぜ強制送風式ではなく、IR加熱方式を採用するのか？ 強制送風式の仕組みを考えてみましょう。要するに、まず空気という「仲介者」を加熱し、そのエネルギーをウェーハや基板に伝えようとするわけです。問題は、これが非常に遅いということです。半導体加工の世界では、この遅さは無駄な時間となってしまいます。 だ...

はじめに 想像してみてください：温かく、乾燥していて、ちょうど良いと感じるバスルーム。それが私たちのPTCセラミック赤外線ヒーターが目指すものです。 このヒーターは、家の中で熱、湿気、清潔さが交差する唯一の部屋のために作られました。もちろん、主な役割は快適さを保つことですが、本当の設計の核心は、カ...