リソグラフィーの工程では、わずか0.5度程度の温度変動でもすぐに問題が発生します。つまり、線幅のばらつきや歩留まりの低下が起こります。目標値を達成しようとしても、ウェーハ全体の均一性を保つのは難しく、また微粒子の発生によってクリーンルーム内の環境も悪化します。一方、線形赤外線加熱器は、これらの問題...

Role ファブ現場では、フォトレジストのソフトベイクで0.5℃の温度変動がCD（Critical Dimension）を変化させること、そして乾燥ムラがエッジビーズを生じさせ、ランプのコストをはるかに超える損失を招くことを速やかに理解する。サーマルバジェットが厳しく、時間が限られている場合、赤外...