半導体用の金コーティング赤外線ランプ

半導体製造装置を「オーヴン」に変えないでください。 一般的な赤外線ランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうという点です。そのようなランプを狭い処理室に詰め込むと、360度から熱が放出され、大変な問題となります。 実際、そのエネルギーの大部分はウェーハには当たらず、装置の...