IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

なぜ強制送風式ではなく、IR加熱方式を採用するのか？ 強制送風式の仕組みを考えてみましょう。要するに、まず空気という「仲介者」を加熱し、そのエネルギーをウェーハや基板に伝えようとするわけです。問題は、これが非常に遅いということです。半導体加工の世界では、この遅さは無駄な時間となってしまいます。 だ...