ウェハー裏面研削用加熱器

Role 300mmラインにおいて、ダイシング直前のウェーハ薄膜化は熱応力が歩留まり損失に転じる工程である。バックグラインディング中にドリフトやスパイクを起こすサポートヒーターは、薄いウェーハを割り、後に不良として現れる微小クラックの種をまく。われわれはその不確実性を排除し、基板が最も脆弱な箇所で...