ウェーハ水分除去ランプ

リソグラフィーの工程では、表面に付着しているわずかな水分が、ソフトベイクの工程を妨げることがあります。露光装置を使う前から、フォトレジストの厚みやCDの品質が乱れてしまいます。ホットプレートでは、ウェーハの裏面が過度に加熱されないようにしながら、迅速に水分を除去するのが難しく、その結果、パターンに...