自動ウェーハ乾燥ヒーター

ファブの現場では、わずかな水分やフォトレジストの欠陥が、一括してウェーハ全体の品質を損なってしまうことがあります。熱処理の段階で、どれだけ品質が維持されるかが決まります。私たちは、ウェーハの乾燥やフォトレジストのソフトベイク、ハードベイクにおいて、リソグラフィーに求められる安定した温度制御を実現す...