ヒーターがクリーンルームを台無しにするのをやめましょう クラス100（ISO 5）の環境で作業している場合、ほんの少しのほこりでも大問題になります。問題は、通常の抵抗式ヒーターは、まさにほこりの源となってしまうことです。きれいに保たれているべき時に、酸化物層が剥がれ落ちたり、ガスが漏れ出したりして...

安全を確保するために：化学洗浄エリアでの赤外線ヒーターの使用法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その雰囲気がわかるでしょう。すべてが清潔ですが、洗浄に使われる化学薬品は多くが揮発性が高く、正直、危険なものです。このような場所に赤外線ヒーターを設置すると、燃焼しやすい蒸気が充満している...

スマートファブにおける適切な加熱の実現 もし産業4.0の環境を目指しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや不十分だということに気づいているはずです。昔ながらの対流式加熱は効率が悪く、まるでキャンドルを使って家を温めるようなもので、時間がかかりすぎます。 そのため、私たちは赤外線加熱システムを利...

スマートファブで熱を有効活用する方法 インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、従来の加熱方法では不十分だということがお分かりでしょう。従来の対流式加熱法は、高温の空気を送り込むというものですが、クリーンルームでは全く役に立ちません。空気があちこちに渦巻き、粒子を舞わせて基板を汚して...