ファブ乾燥のエネルギー監査

ファブ内における乾燥工程の重要性 乾燥は単なるチェック項目ではない。歩留まりを確定させる直前の最後の熱処理であり、その後の工程の見通しを決定づける。ホットゾーンがずれたりエネルギープロファイルが制御されていないとすぐにわかる。エッジビードが発生し、トラック内に溶剤が残留し、フォトレジストの表皮がハ...