クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために シリコンウエハを加熱する際、単に温度を上げるだけでは不十分です。クラス100の環境では、ほんの小さなほこりの粒子でさえも、まるで手榴弾のような存在です。それによって、数秒で大量のチップが破壊されてしまいます。 そのため、私たちは従来の抵抗...

リソグラフィー現場での技術的な重要性 ソフトベイクで2℃の変動があると、フォトレジストの熱バジェットが乱れます。溶剤保持が増加し、CDの均一性が損なわれます。この違いは良品ロットと廃棄物の境界線です。我々はこの変動を排除するために赤外線ソフトベイクモジュールを開発しました。 技術的に重要な点 IR...