ウエハーの硬化処理をクリーンに保つために（そして、心の平穏を保つために） もし、クラス100のクリーンルームで作業を行っているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。わずかなガスの発生や、ランプから飛び出す微粒子だけで、全体の製品が台無しになってしまいます。ウエハーの硬化処理用の反射器や加熱ラン...

製造現場において、アンダーフィルの硬化処理は、熱的な要因が実際の歩留まりに影響を与える重要な段階です。数度の温度変動であっても、気泡やフィレットの問題、またはCTEの不一致が生じ、信頼性試験時に問題となります。私たちは、赤外線を利用したアンダーフィル硬化装置を開発しました。これにより、熱が本来ある...

ファブフロアでは、クロックは止まることなく動き続ける。リソグラフィがペースを決め、その直後のベイク工程が歩留まりの維持または低下の分岐点となる。フォトレジストは安定した熱エネルギーを必要とする—ソフトベイクで溶剤を飛ばし寸法を固定し、ハードベイクでエッチング前にマスクを定着させる。ベイク工程の熱条...