オゾンフリー赤外線ランプ

製造現場でのオゾン問題を解決しよう 正直に言って、装置の後処理は最も面倒な作業です。半導体製造においては、私たちはゼロ排出を目指しています。しかし、通常のIRランプや対流式オーブンを使用している場合、厄介な問題が発生します。これらのランプは185～254nmの波長の光を放つため、クリーンルーム内の...