半導体ヒーター部品 中国

ファブ内では、300mmのウェーハがトラックから出てきてベイクプレートの上に置かれます。温度がわずか数十分の1度でも変動すると、フォトレジストの特性が乱れてしまいます。CDもずれてしまいます。結果として、全体が危険な状態に陥ります。プロセスカードで指定された場所に正確に熱を与える必要があります——...