もう、真空チェンバーが十分に温まるのを待つ必要はありません。
現代的でスマートなファブを構築しようとしているなら、熱管理が非常に困難だということに気づいているはずです。従来の抵抗加熱方式では、加熱に時間がかかりすぎます。時間の半分を、設備が適切な温度になるのを待つのに費やさざるを得ず、デジタルツールとの連携も非常に難しいです。
そこで役立つのが赤外線ヒーターです。部屋全体を加熱するのではなく、直接放射熱を利用するため、ほぼ即座に目的の温度に到達します。もう、チェンバーの壁が十分に温まるのを待って作業を始める必要はありません。
本当に「スマート」にするために
スマートなファブというのは、フィードバックループの良し悪しによって評価されます。もしヒーターが反応するのに10分もかかるなら、そのデータは役に立ちません。
一方、赤外線システムは違います。電圧を調整した瞬間に反応します。高速PIDコントローラーを持つPLCに接続すれば、リアルタイムで熱量を調整できます。そうすれば、ウェーハの温度分布をミリ秒単位で正確に把握できます。これにより、加熱処理は単なる雑務ではなく、実際に制御可能な正確なデータとなります。
真空環境での課題
ただし、真空状態では対流による冷却が効かないため、すべてが放射熱によって行われます。
私たちは大量の電力に耐えられるようにこのヒーターを設計していますが、注意が必要です。ワット数を高くしすぎると、冷却装置が過負荷になります。周囲の温度上昇に追いつけなければ、チェンバーのシール部分が壊れてしまいます。バランスを取る必要があります。使用する冷却システムが、発生する熱に対応できるものかを確認してください。そうしないと、シール部分を頻繁に交換しなければならなくなります。
スペースを節約できる
最も良い点は、赤外線ヒーターはあまりスペースを取らないことです。巨大なオーブンの代わりに、これを使えばいいのです。
これにより、サイクルタイムが大幅に短縮されます。エネルギーを正確に基板がある場所に集中させることができるため、真空ポンプやチェンバーの壁を温めるための無駄な電力の消費がなくなります。これにより、より効率的で、電気代も削減でき、生産ラインの拡張も容易になります。