揮発性化学物質を加熱する際の安全対策
ウェーハ洗浄ラインを運用している方なら、危険な化学物質の蒸気を扱っていることはご存知でしょう。そこに高温のIRランプを加えるとどうなるでしょうか？それは大惨事を招く結果になります。
だからこそ、私たちは単にランプを作るだけではありません。IRシステムを構築する際には、特別な封止処理を施します。これは、有害な蒸気が電気端子や高温のクォーツに触れないようにするための保護装置です。
封止処理の仕組み
一般的なランプの場合、接続部から熱や電気が漏れ出しがちです。化学物質が存在する環境では、このような漏れは単なるトラブル以上の問題です。実際に火災を引き起こす原因にもなります。
これを解決するために、私たちは完全に密閉されたクォーツ製のケースを使用します。これにより、発熱体が空気と接することがなくなります。また、過酷な化学物質に耐えられる密封材も使用しているので、熱衝撃が加わってもケースが割れることはありません。
さらに、素材にもこだわります。高純度のクォーツを使用することで、ウェーハを迅速に乾燥させるための高温に耐えられます。また、電気接続部分も工業用レジンで覆っており、腐食性のあるガスが配線を侵食したり、短絡して火災を引き起こしたりするのを防ぎます。
つまり、安心感が重要なのです。
適切な温度の維持
ウェーハ全体に均一な温度を維持するのは難しいです。もしランプの中の1つが他のランプよりも少しでも高温になってしまうと、ホットスポットができてしまいます。理想的ではありません。
そのため、私たちはワット数の許容範囲を極めて狭く設定しています。また、サイズも小さくして、狭い洗浄室にも収まるようにしています。直接IR放射が行われるため、空中の化学物質は熱を吸収しません。ウェーハが熱を受け取るのです。簡単ですね。
デメリット（正直なところ）
このような高水準の密封処理により、ランプのサイズが少し大きくなってしまいます。普通のブラケットにそのまま設置することはできません。
購入する前には、チャンバーのスペースを必ず確認してください。また、冷却ファンが十分に熱を抜いているかも確認が必要です。ケースが余計な熱を保持してしまうと、内部の密封部品が早く劣化してしまいます。
最後に、精密なコントローラーに接続することをお勧めします。目標温度を超えてしまうと、ウェーハが損傷する可能性があります。