自动晶圆干燥加热器

在晶圆制造过程中，哪怕只有一个污渍或光刻胶表面的缺陷，都可能毁掉整批晶圆。而温度控制则是决定产品合格率的关键因素。我们设计的这款自动晶圆干燥加热器，正是为应对晶圆干燥、光刻胶软化处理及硬化处理等工艺需求而设计的——它能够实现精确的温度控制，从而满足光刻工艺对稳定性的要求。 核心优势 我们采用短波红...