用于Fab IR的电压稳压器

在光刻工厂中，光刻胶对温度极为敏感。哪怕是1摄氏度的温度变化，都可能使光刻胶的尺寸控制变得不准确，同时也会影响蚀刻的选择性。如果将红外加热器视为普通的热源来使用，那只会带来麻烦——只有确保灯管电压的稳定性，才能实现晶圆表面的均匀受热。 关键在于什么？ 我们需要为光刻工厂中的红外加热器配备电压调节器...