标签为“1微米”的页面如下 红外波灯 1微米 2微米 在工厂车间,光刻胶烘烤过程中的温度漂移或清洗后的半干晶圆不是学术问题,而是废品。我们将红外波灯设计为1μm和2μm,以保持热控制在工艺窗口内,即使在排队堆积和环境尽力干扰的情况下也能如此。 底层的重要性 这些灯在1μm和2μm的波长范围内发出针对性的近红外光,匹配水膜和光刻及封装中聚合物化学物质的... Read more...
红外波灯 1微米 2微米 在工厂车间,光刻胶烘烤过程中的温度漂移或清洗后的半干晶圆不是学术问题,而是废品。我们将红外波灯设计为1μm和2μm,以保持热控制在工艺窗口内,即使在排队堆积和环境尽力干扰的情况下也能如此。 底层的重要性 这些灯在1μm和2μm的波长范围内发出针对性的近红外光,匹配水膜和光刻及封装中聚合物化学物质的... Read more...