MEMS传感器晶圆干燥加热器

无需费力的MEMS晶圆干燥方式 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要精心把握平衡点——既要快速去除晶圆上的液体，又不能破坏那些极其微小的结构。长期以来，人们一直使用大型对流式烤箱来烘干晶圆。但说实话，为了烘干一块薄薄的晶圆而加热大量空气实在是一种浪费。因此，我们转而使用短波红外加热灯。这种方式更加高效...