停止把半导体加工设备变成“烤箱”吧！ 普通的红外灯有个问题：它们会向各个方向散发热量。当这些灯被装在狭小的处理腔内时，这种360度的全方位发热现象就会带来很大麻烦。 实际上，大部分热量并没有照射到晶圆上，而是被反射到了设备的内部墙壁上。这样一来，整个设备外壳就变成了一个巨大的散热器。结果就是，设备...

确保安全：在化学清洗区域使用红外加热器 如果你曾经在半导体洁净室工作过，就会明白那里的环境有多么严格。一切都必须保持干净无瑕，而用于清洁的化学物质则往往具有挥发性，而且相当危险。如果在这样的环境中使用红外加热灯，那就相当于在充满易燃气体的房间里引入了热源。一旦发生电弧或某个部件过热，就会引发严重的...

为什么红外固化是处理无铅半导体的最佳方式 说实话，传统的对流式烤箱已经过时了。大多数半导体工厂都开始采用红外固化技术，这是有充分理由的。因为这种技术能够在不降低生产速度的情况下，实现无铅化与环保化的目标。 无需加热空气 想想传统烤箱的工作原理吧：先加热空气，再让空气来加热晶圆。这是一种间接的方式，...

为何我们使用黄金来防止热量散失 在处理半导体晶圆时，单纯增加功率并不是解决问题的方法。关键不在于输入了多少能量，而在于有多少热量能够真正作用于目标区域。 因此，我们才使用镀金反射器。这样，能量就不会逸散到设备外部，而是被反射回原来的位置。 关键在于反射效应 普通的铝材料虽然可以用来反射光线，但其吸...

在制造车间里，300毫米的晶圆会从输送带上被送至加热板上。哪怕温度有极其微小的波动，也会导致光刻胶的厚度出现偏差。这样一来，CD的生产就会受到威胁。因此，必须确保热量能够精确地施加到工艺要求的位置上，不能有任何误差。 技术上的关键点 我们在中国生产短波红外加热器，这种加热器能够实现亚毫米级别的温度...

在制造现场，填充材料的固化过程决定了产品的实际良率。哪怕温度有几度的偏差，都可能引发空洞、填充不均或热膨胀系数不匹配等问题，这些问题会在后续的可靠性测试中显现出来。我们设计的红外固化系统能够确保热量集中在材料内部，不会影响到周围的设备。 从技术层面来看，我们需要让红外发射器的输出功率与环氧树脂基填...

在晶圆厂车间，你会很快发现光刻胶软烘温度漂移0.5°C就会导致临界尺寸（CD）变化，干燥不均匀会留下边缘珠，最终成本远高于灯具本身。当热预算紧张且时间紧迫时，红外加热是合适的选择。 我们的半导体红外加热灯基于短波石英发射器和闭环控制系统。结果是在卡盘范围内实现晶圆级均匀性，温度波动控制在...