不锈钢加热器外壳制造
为什么我们在半成品加工中要从热空气加热转向红外加热呢?
如果你曾经使用过热空气循环系统,那就知道其中的麻烦了。你需要先加热空气,再希望这些热空气能够加热工件。在半导体加工领域,这种“中间介质”——空气——其实会占用大量时间。
在固化或干燥过程中,这个问题尤为明显。你只能等待温度上升,而在此期间,生...
用于光刻机的石英玻璃防护罩
阻止热量泄漏:为何芯片制造厂需要石英防护层 如果你曾在芯片制造厂中操作高功率加热灯,那就知道这个问题有多严重了。热量不会只流向你希望它去的地方,而是会四处扩散。如果没有有效的防护措施,那些红外线能量会照射到设备内部的各个部位,而不仅仅是晶圆本身。很快,设备的内壁就会被烤得滚烫,这不仅会导致设备停机...
可持续的制造业解决方案
在局势不稳定的情况下,如何保护您的设备安全?
如果您从事半导体制造工作,那您应该知道:化学清洗是必不可少的步骤,但那些易挥发的溶剂则会给安全带来巨大威胁。如果再把红外灯也加进去,那就等于为火灾埋下隐患。
我们不会采用开放式设计,而是使用封装式的红外系统。这是一种更有效的处理热量问题的方法。
密封结...
洁净室设备升级中
在智能工厂中实现精准控温
如果你们正在向工业4.0转型,那么你们肯定已经意识到,传统的加热方式已经不再适用了。传统的对流式加热效率极低,就像用蜡烛来给房子供暖一样——需要很长时间才能让房间变暖。
因此,我们选择使用红外线加热系统。这种系统无需等待空气流动,可以直接将热量传递到目标物体上。这样,只需...
用于Fab IR的电压稳压器
在光刻工厂中,光刻胶对温度极为敏感。哪怕是1摄氏度的温度变化,都可能使光刻胶的尺寸控制变得不准确,同时也会影响蚀刻的选择性。如果将红外加热器视为普通的热源来使用,那只会带来麻烦——只有确保灯管电压的稳定性,才能实现晶圆表面的均匀受热。
关键在于什么? 我们需要为光刻工厂中的红外加热器配备电压调节器...