为何我们放弃强制对流加热，转而使用红外线加热 先来看看强制对流加热的原理：其实，这种加热方式就是通过加热空气来传递热量，希望空气能将热量传递到芯片或基板上。但问题在于，这种方式效率极低。在半导体加工领域，这样的延迟无疑意味着时间的浪费。 因此，我们选择使用红外线发射器。与加热空气不同，红外线可以直...

在光刻工艺中，哪怕温度变化仅半度，也会立刻影响到产品的质量——线宽会出现偏差，成品率也会下降。虽然人们努力让工艺参数符合标准，但烘烤过程中的温度均匀性问题仍然存在，而且颗粒物的产生也会影响洁净室的环境。线性红外加热器则能同时解决这两个问题。 从技术角度来看，其优势在于： 线性红外发射器能够快速、直...