리소그래피 작업장에서 0.5도만 온도가 변해도 치수 제어가 규격에서 벗어나며, 이로 인해 생산이 중단되고 웨이퍼가 폐기된다. 이를 방지하기 위해 탄소섬유 적외선 램프 시스템을 개발했다. 공정이 요구하는 온도를 정확히 고정하여 교대조마다 안정적으로 유지한다. 기술적으로...

Role 당사 공정에서 건조는 단순히 체크리스트의 한 항목이 아니다. 이는 수율을 확정하기 전 마지막 열처리 과정이며, 이후 공정의 방향을 결정한다. 고온 구역이 이동하거나 에너지 분포가 제어되지 않으면 즉시 알 수 있다—에지 비드가 발생하고, 트랙 내에 용제가 잔류...

제조 현장에서는 시간이 멈추지 않는다. 리소그래피가 속도를 결정하며, 노광 직후의 베이크 공정이 수율을 유지하거나 하락시키는 분기점이다. 포토레지스트는 일관된 열에너지가 필요하다. Solvent를 제거하고 치수를 고정하는 Soft Bake, 식각 전에 마스크를 고정하...