팹 IR용 전압 조절기

팹 내에서는 포토레지스트가 온도에 매우 민감합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 1°C만 변해도, 웨이퍼의 치수가 정확한 값에서 벗어나게 되며, 에칭 성능도 저하됩니다. IR 가열 단계를 일반적인 열원으로 취급한다면 문제가 생길 수 있습니다. 실제로...