텅스텐 필라멘트 석영 램프

팹에서는 포토레지스트의 열적 특성이 웨이퍼의 선폭을 안정적으로 유지하는 데 매우 중요합니다. 만약 소프트 베이크 과정에서 온도가 일정하지 않으면, 포토레지스트의 두께도 제멋대로 변하게 되고, 에치 공정을 시작하기 전에도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 우리는 이러한...