탄소 섬유 적외선 램프 제조

리소그래피 작업장에서 0.5도만 온도가 변해도 치수 제어가 규격에서 벗어나며, 이로 인해 생산이 중단되고 웨이퍼가 폐기된다. 이를 방지하기 위해 탄소섬유 적외선 램프 시스템을 개발했다. 공정이 요구하는 온도를 정확히 고정하여 교대조마다 안정적으로 유지한다. 기술적으로...