선형 적외선 가열 송신기

리소그래피 공정에서는, 단지 0.5도만큼의 온도 변화라도 즉시 문제가 되며, 이로 인해 선두께의 변동이 발생하고 생산 효율도 떨어집니다. 목표치를 맞추려고 노력하지만, 베이크 모듈은 웨이퍼 전체의 균일성을 해치고, 입자 발생으로 인해 클린룸의 환경도 악화됩니다. 선형...