왜 무연 칩 제작에 적외선 경화 기술을 사용하는가? 반도체 산업은 “무연”이자 환경 친화적인 기준을 향해 빠르게 나아가고 있습니다. 이는 당연한 방향이지만, 제조 과정을 좀 더 복잡하게 만듭니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 하지만 솔직히 말해서,...

휘발성 화학물질을 가열할 때 안전을 유지하는 방법 웨이퍼 세척 라인을 운영하고 있다면, 이미 알고 있겠지만, 여기서는 인화성이 있는 화학물질의 증기를 다루게 됩니다. 이제, 고온의 IR 램프를 그 혼합물 속에 넣는다고 상상해 보세요. 그건 재앙을 초래할 뿐입니다. 그...

웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 (그리고 정신적으로도 안정을 유지하는 방법) 만약 클래스 100 등급의 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 양의 가스가 배출되거나, 램프에서 떨어져 나온 미세한 입자만 있어도 전체 제품이...

불필요한 고민 없이 MEMS 웨이퍼를 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 신중해야 합니다. 액체를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 섬세한 미세구조가 손상될 수 있습니다. 오랫동안 사람들은 큰 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 하지...

클래스 100의 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 단순히 온도만 고려해서는 안 됩니다. 클래스 100 환경에서는 아주 작은 먼지 한 알도 치명적인 위협이 됩니다. 그 먼지 하나만으로도 몇 초 만에 전체 칩들이 파괴될 수 있습니다. 그래...

생산 현장에서는, 단 한 점의 습기나 포토레지스트의 결함만으로도 전체 웨이퍼의 품질이 망가질 수 있습니다. 열처리 과정에서야 비로소 제품의 품질이 유지되거나 혹은 저하됩니다. 우리는 웨이퍼 건조, 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정을 위해 이러한 자동화...

FO-WLP 라인에서 리플로우 및 캡슐화 중 온도 변동은 명확한 고장으로 나타나지 않는다. 미세한 왜곡 변화, 몇 마이크론 단위의 다이 이동, 그리고 소프트 베이크 이후 포토레지스트 프로필의 느린 변화로 나타난다. 결과적으로 수율 손실이 발생하며, 예기치 않은 가동...

300mm 라인에서 웨이퍼 얇게 만들기는 다이싱 직전에 발생하며, 여기서 열응력이 수율 손실로 이어진다. 백그라인딩 중 지지 히터가 드리프트하거나 스파이크가 발생하면 얇은 웨이퍼에 균열이 생기고, 이는 이후 미세 균열로 발전하여 고장을 유발한다. 당사는 이러한 불확실...