불필요한 고민 없이 MEMS 웨이퍼를 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 신중해야 합니다. 액체를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 과도하게 처리하면 그 섬세한 미세구조가 손상될 수 있습니다.
오랫동안 사람들은 큰 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 하지만 솔직히 말해서, 얇은 웨이퍼를 건조하기 위해 엄청난 양의 공기를 가열하는 것은 낭비일 뿐입니다. 그래서 우리는 단파 적외선 히터를 사용하게 되었습니다. 이 방식은 훨씬 효율적이며, 클린룸의 탄소 배출량도 줄일 수 있습니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
적외선의 장점은 바로 에너지 밀도입니다. 전체 챔버를 가열하는 대신, 에너지를 웨이퍼 표면에 직접 전달합니다. 그 결과 몇 초 만에 액체가 증발합니다. 이제는 불필요하게 에너지를 낭비할 필요가 없습니다. 처리 시간도 단축되고, 웨이퍼당 전력 비용도 크게 줄어듭니다. 정말 효율적인 방법입니다.
열을 발생시키는 장치
우리는 고순도 석영으로 만든 커버를 사용합니다. 이를 통해 자외선과 적외선이 차단되지 않고 그대로 통과합니다.
하지만 모든 웨이퍼가 같지는 않습니다. 작업하는 웨이퍼의 종류에 따라, 램프에 특수한 코팅을 해서 방출되는 스펙트럼을 조절합니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 손상되지 않으면서도 잔여물을 효과적으로 제거할 수 있습니다.
또한, 우리는 표준 산업용 커넥터를 사용합니다. 유지보수 중에 전체 회로를 다시 연결해야 하는 상황은 피해야 합니다. 이 커넥터들은 간단하게 교체할 수 있습니다.
단점과 그 해결 방법
단파 적외선도 마법은 아닙니다. 강력한 힘이 있기 때문에, 사용할 때는 주의가 필요합니다. 컨베이어의 속도와 램프의 높이를 정확하게 조절해야 합니다. 웨이퍼가 램프 아래에 너무 오래 머물면 열應力이 생기거나 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. PLC 로직도 정확해야 하며, 그렇지 않으면 센서가 손상될 수 있습니다.
“친환경 공장”을 추구하는 것은 단순한 구호가 아닙니다. 에너지를 많이 소비하는 강제 공기 가열기를 없애는 것입니다. 그 결과 장비의 크기가 줄어들고, CO2 배출량도 현저히 감소합니다. 이는 작업 효율성과 지구 환경 모두에 긍정적인 영향을 줍니다.