인증된 적외선 경화 램프 제조

제조 현장에서는 시간이 멈추지 않는다. 리소그래피가 속도를 결정하며, 노광 직후의 베이크 공정이 수율을 유지하거나 하락시키는 분기점이다. 포토레지스트는 일관된 열에너지가 필요하다. Solvent를 제거하고 치수를 고정하는 Soft Bake, 식각 전에 마스크를 고정하...