휘발성 화학물질을 가열할 때 안전을 유지하는 방법
웨이퍼 세척 라인을 운영하고 있다면, 이미 알고 있겠지만, 여기서는 인화성이 있는 화학물질의 증기를 다루게 됩니다. 이제, 고온의 IR 램프를 그 혼합물 속에 넣는다고 상상해 보세요. 그건 재앙을 초래할 뿐입니다.
그래서 우리는 단순히 램프를 만드는 것이 아니라, 특수한 캡슐화 처리를 통해 IR 시스템을 제작합니다. 이는 사실상 전기 접점과 뜨거운 석영으로부터 그 해로운 증기들을 차단하는 역할을 합니다.
캡슐화가 실제로 어떻게 작동하는가?
일반적인 램프의 경우, 밀폐된 부분에서 열과 전기가 새어나오는 경향이 있습니다. 화학적 환경에서는 이러한 누수가 단순한 문제가 아니라, 폭발의 원인이 될 수 있습니다.
이를 해결하기 위해 우리는 완전히 밀폐된 석영 케이스를 사용합니다. 이를 통해 가열 요소가 공기와 완전히 분리됩니다. 또한, 강한 화학물질에도 견딜 수 있는 밀폐장치를 사용하여, 열충격이 발생해도 케이스가 깨지지 않도록 합니다.
또한, 우리는 고품질의 석영을 사용합니다. 이는 웨이퍼를 빠르게 건조시키는 데 필요한 강한 열에도 변형되지 않습니다. 게다가, 전기 연결 부분은 산업용 수지로 처리됩니다. 이를 통해 부식성 가스가 배선을 손상시키거나 단락되어 화재가 발생하는 것을 막을 수 있습니다.
이 모든 것은 안심을 위함입니다.
적절한 온도를 유지하는 방법
웨이퍼 전체에 균일한 온도를 유지하는 것은 쉽지 않습니다. 램프 중 하나라도 다른 램프보다 조금이라도 더 뜨거우면, 그 부분에 과열이 발생합니다. 이는 바람직하지 않습니다.
그래서 우리는 와트수의 허용 오차를 매우 엄격하게 설정합니다.
또한, 크기도 작게 유지하여 좁은 세척실에도 잘 들어갈 수 있도록 합니다. 직접적인 IR 복사 때문에, 공기 중의 화학물질들은 열을 흡수하지 못합니다. 열은 웨이퍼에만 전달됩니다. 간단합니다.
단점들
물론, 이렇게 철저한 밀폐 처리로 인해 램프의 크기가 조금 커집니다. 그냥 일반적인 브라켓에 넣어서 사용할 수는 없습니다.
구매하기 전에 반드시 세척실의 공간을 확인해야 합니다. 또한, 냉각팬이 그 밀폐된 부분의 열을 효과적으로 낮출 수 있는지도 확인해야 합니다. 만약 케이스에 열이 너무 많이 축적된다면, 내부의 밀폐장치들이 빨리 마모될 것입니다.
마지막으로, 정밀한 제어기와 연결하는 것이 중요합니다. 목표 온도를 초과하여 작업물을 손상시키는 일이 없도록 해야 합니다.