なぜ赤外線硬化が無鉛半導体の加工に適しているのか 正直言って、従来の対流式オーブンはもはや時代遅れに思えます。ほとんどの半導体工場では、赤外線を利用した硬化処理が採用されています。それにはしっかりとした理由があります。つまり、無鉛で環境に優しい処理を実現しつつ、生産ラインの速度を落とすことがないか...

ファブ内における乾燥工程の重要性 乾燥は単なるチェック項目ではない。歩留まりを確定させる直前の最後の熱処理であり、その後の工程の見通しを決定づける。ホットゾーンがずれたりエネルギープロファイルが制御されていないとすぐにわかる。エッジビードが発生し、トラック内に溶剤が残留し、フォトレジストの表皮がハ...