半導体製造装置を「オーヴン」に変えないでください。 一般的な赤外線ランプには問題があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうという点です。そのようなランプを狭い処理室に詰め込むと、360度から熱が放出され、大変な問題となります。 実際、そのエネルギーの大部分はウェーハには当たらず、装置の...

気温が下がるたびにお金を失うのはもうやめましょう。 それは本当にイライラする状況です。素晴らしい屋外スペースを持っていても、寒くなるとその場所はまるで廃墟のようになってしまいます。多くの人々は、従来の対流式ヒーターを使ってこの問題を解決しようとしますが、問題は、そうしたヒーターは空気を温めようとす...

バスルームで適切な温度を実現するには 赤外線ランプに関して言えば、必ずしも出力が大きい方が良いわけではありません。よくあるのは、エンジニアたちができるだけ高い出力のランプを使ってしまうということです。その結果、電気代が莫大にかかり、バスルームの一方はサウナのように暑く、もう一方は冷蔵庫のように寒く...

バックヤードを温かく、かつスマートにする方法 正直に言って、11月という時期にディナーパーティーの最中に寒さで震えるのは誰も好きではありません。しかし、外にヒーターを設置するなら、単に運を頼るだけでは不十分です。暴風雨にも耐えられるような装置が必要です。 そのため、私たちはIP65等級のケースを使...

熱の漏れを防ぐ：より効果的なCNT成長の方法 もし、カーボンナノチューブの製造に携わったことがあるなら、温度制御の難しさはよくわかるでしょう。これはバランスを取るのが難しい問題です。問題は、従来の抵抗式ヒーターが使いにくいという点です。このヒーターは、サンプルだけでなく、チャンバー全体を巨大なラジ...

オーブンが温まるのを待って時間を無駄にしないでください。 半導体製造の世界では、待っている1秒1秒が、実質的にお金の損失となります。 多くの工場では依然として熱風循環方式が使われています。これは古い方法で、空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つというものです。これは効率が悪く、面倒です。 私...

MEMSウエハーを乾燥させる際には、細心の注意が必要です。液体をすばやく除去する必要がありますが、力を入れすぎると、微細で繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 長い間、人々は大きな対流式オーブンを使ってきました。しかし正直、薄いウエハーを乾燥させるために大量の空気を加熱するのは無駄です。そこで私...

バスルーム用ヒーターの適切なワット数を選ぶ方法 バスルーム用の赤外線ランプを選ぶとき、最初に思いつくのは、棚にある中で最も出力の高いものを選ぶことかもしれません。しかし、それは通常間違った判断です。 出力が強すぎると、電気代がかさみ、バスルームがサウナのようになってしまいます。逆に出力が弱すぎると...

なぜ湿気の多い場所には耐爆性のあるクォーツが必要なのか もし、浴室や鶏小屋に赤外線ランプを設置したことがある人なら、その状況をご存知でしょう。湿度が高く、湿気が多く、また部品がすぐに熱くなってしまいます。 問題は、たった一滴の水が高温のランプに当たると、ガラスが急激に収縮してしまうことです。通常、...

なぜ湿気の多い場所で防爆型クォーツガラスを使用するのか？ もし1500Wの天井用ヒーターをバスルームやガゼボに設置するなら、寒さ以上に大きな問題があります。それは湿気です。 通常の赤外線ランプでは、こうした場所では機能しません。すぐに壊れてしまいます。だからこそ、私たちは防爆型クォーツガラスを使用...

化学物質が不安定になったときに、それらを安全に扱う方法 正直に言えば、化学洗浄装置を加熱するのは非常に危険な作業です。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気を取り扱っているわけですから、そんな環境では、ほんの小さな火花や密封不良でも、単なる「技術的なトラブル」では済まされず、大惨事につながります。 だからこそ...

状況が不安定になったときにも、貴重な装置を安全に守る方法 半導体製造業で働いている人ならわかると思いますが、化学薬品による洗浄は必要不可欠です。しかし、これらの揮発性溶剤は安全性の面で大きな問題を引き起こします。さらに、通常の赤外線ランプを使えば、火災が発生する危険性があります。 私たちは、開放型...

ヒーターがクリーンルームを台無しにするのをやめましょう クラス100（ISO 5）の環境で作業している場合、ほんの少しのほこりでも大問題になります。問題は、通常の抵抗式ヒーターは、まさにほこりの源となってしまうことです。きれいに保たれているべき時に、酸化物層が剥がれ落ちたり、ガスが漏れ出したりして...

安全を確保するために：化学洗浄エリアでの赤外線ヒーターの使用法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その雰囲気がわかるでしょう。すべてが清潔ですが、洗浄に使われる化学薬品は多くが揮発性が高く、正直、危険なものです。このような場所に赤外線ヒーターを設置すると、燃焼しやすい蒸気が充満している...

スマートファブにおける適切な加熱の実現 もし産業4.0の環境を目指しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや不十分だということに気づいているはずです。昔ながらの対流式加熱は効率が悪く、まるでキャンドルを使って家を温めるようなもので、時間がかかりすぎます。 そのため、私たちは赤外線加熱システムを利...