웨이퍼 수분 제거 램프

리소그래피 공정에서는 표면에 남은 수분이 있으면 부드러운 건조 과정에 방해가 됩니다. 노출 장비를 사용하기도 전에 사진감광제의 두께와 CD의 품질을 제어할 수 없게 됩니다. 핫플레이트를 사용해 그 필름을 빠르게 제거하려 해도 웨이퍼의 뒷면이 과열되는 문제가 생기고,...