半导体红外器件的底部填充材料固化
在制造现场,填充材料的固化过程决定了产品的实际良率。哪怕温度有几度的偏差,都可能引发空洞、填充不均或热膨胀系数不匹配等问题,这些问题会在后续的可靠性测试中显现出来。我们设计的红外固化系统能够确保热量集中在材料内部,不会影响到周围的设备。
从技术层面来看,我们需要让红外发射器的输出功率与环氧树脂基填...
用于Fab IR的电压稳压器
在光刻工厂中,光刻胶对温度极为敏感。哪怕是1摄氏度的温度变化,都可能使光刻胶的尺寸控制变得不准确,同时也会影响蚀刻的选择性。如果将红外加热器视为普通的热源来使用,那只会带来麻烦——只有确保灯管电压的稳定性,才能实现晶圆表面的均匀受热。
关键在于什么? 我们需要为光刻工厂中的红外加热器配备电压调节器...