碳纤维红外灯制造厂

在光刻车间，半度的软烘烤漂移足以使关键尺寸控制超出规格。生产线停运，晶圆被报废。我们开发了碳纤维红外灯系统，以防止这种情况发生——通过将温度精确锁定在工艺所需的位置，确保每一班次的一致性。 技术要点 碳纤维红外发射器快速、稳定地提供热量，反应迅速且热质量低。您将在烘烤表面实现±0.1°C的晶圆级均...