晶圆厂干燥能耗审计

在晶圆厂，干燥不仅仅是流程中的一个环节。它是锁定良率前的最后一次热处理动作，同时决定了后续工序的基准视线。当热区偏移或能量分布未被控制时，你会立刻察觉——边缘珠状物出现，溶剂残留在轨道上，光刻胶在硬烘烤阶段出现抗拒现象。由此产生的成本表现为返工、报废以及能源浪费的隐性开销。 技术上真正重要的 我们...