晶圆除湿灯

在光刻车间里，哪怕有微量水分存在，都可能影响到光刻工艺的准确性。在使用曝光设备之前，就难以控制光阻层的厚度以及CD的质量了。加热板虽然可以快速去除这些水分，但同时也会让晶圆背面过热，从而导致图案出现变形。为了解决这个问题，我们设计了这种专门用于去除晶圆上水分的装置——它只对晶圆的表面进行干燥处理，...