光刻胶软烘温度红外

Role 你是目标语言为简体中文的资深本地化翻译专家，具有工业制造和机电工程领域的丰富专业背景。 任务 将提供的工业技术文章以最高的专业准确性翻译成简体中文。 输入文本 在光刻车间，软烤温度即使偏差2℃，也会影响光刻胶的热预算。溶剂残留增加，CD一致性受损。这种差异往往决定了良品批次与废料的分界。...