Di dalam bilik proses yang canggih ini, kitaran SRD berlaku dengan cepat dan efisien – proses pencucian, pengeringan, dan penyimpanan dilakukan secara serentak. Jika lampu inframerah mula menunjukkan masalah, ia akan dapat dikesan dengan segera: wafer akan mempunyai kesan garisan, zarah-zarah akan bergerak secara tidak terkawal, dan kualiti fotoresist juga akan terjejas. Kami telah merancang lampu inframerah SRD agar dapat beroperasi 24/7 tanpa menghadapi masalah.
Yang penting ialah penggunaan cahaya inframerah gelombang pendek, yang dikendalikan oleh unsur kuarsa yang berfungsi dengan cepat. Masa tindak balasnya adalah kurang dari satu saat, dan suhu di seluruh permukaan wafer tetap stabil pada tahap ±0.1°C. Ini membantu melindungi integriti fotoresist selepas proses pembakaran. Lampu ini boleh beroperasi dalam persekitaran kelas 1–100 – tiada penghasilan zarah, dan badan lampu yang tertutup pula melindunginya daripada gas berbahaya dan kotoran. Anda boleh mengharapkan lamanya operasi melebihi 5,000 jam dengan penurunan intensiti cahaya kurang dari 5%, tanpa gangguan operasi.
SRD mempunyai had suhu yang ketat: panaskan dengan cepat, keringkan, lalu ulangi proses tersebut. Lampu ini memastikan proses pengeringan berjalan dengan lancar, sehingga masa kitaran menjadi lebih singkat dan wafer tidak mempunyai kesan buruk akibat proses pengeringan. Ketepatan hasil proses juga meningkat kerana suhu tetap stabil setiap kali proses dilakukan. Penggunaan tenaga juga berkurangan – kelajuan tindak balas yang tinggi dan sistem penghubung yang efisien menjadikan keperluan tenaga lebih rendah. Dengan demikian, keperluan untuk menukar lampu juga berkurangan, sekali gus mengurangkan gangguan operasi.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: lampu tersebut perlu sesuai dengan geometri bilik proses SRD serta mekanisme pengimbangan emisi yang digunakan oleh pengawal suhu. Jika reflektor tidak berfungsi dengan baik atau bacaan dari pirometer tidak tepat, maka titik tetapan suhu akan berubah. Pastikan antaramuka mekanikal dan saluran penyejukan disusun dengan betul semasa integrasi, dan pastikan keserasian bilik bersih dengan bahan pelarut dan asid yang digunakan. Dengan penyetelan yang betul, lampu ini akan beroperasi seperti yang diharapkan, hari demi hari. Tanpa sebarang masalah.