Di lantai kilang, drift suhu semasa pengeringan photoresist atau wafer separuh kering selepas pembersihan bukanlah akademik. Ia adalah sampah. Kami membina lampu gelombang inframerah kami pada 1μm dan 2μm untuk mengekalkan kawalan terma dalam tetingkap proses, walaupun apabila barisan tertunda dan persekitaran berusaha sedaya upaya untuk mengganggu anda.
Apa yang penting di bawah permukaan
Lampu-lampu ini mengeluarkan NIR yang disasarkan pada 1μm dan 2μm, disesuaikan dengan cara filem air dan kimia polimer dalam litografi dan pembungkusan sebenarnya menyerap. Geometri pemancar dan reka bentuk reflektor memberikan keseragaman terma pada tahap wafer dalam ±0.1°C, yang melindungi dimensi kritikal dan mengekalkan profil di bawah kawalan.
Mereka siap untuk bilik bersih Kelas 1–100, dibina dengan bahan rendah pengeluaran gas dan seni bina yang meminimumkan zarah. Tiada penghasilan zarah bukanlah slogan di sini — ia adalah keperluan reka bentuk yang ketat. Sistem ini beroperasi 24/7 dengan profil ramp yang boleh diulang, dan output tetap stabil melebihi 5,000+ jam dengan kurang daripada 5% penurunan.
Mengapa ia berfungsi dalam praktik
Dalam langkah pengeringan wafer dan pembersihan-kering, tenaga 1μm dan 2μm menghilangkan kelembapan sisa dengan cepat tanpa memasak substrat. Ini bermakna kurang kerja semula dan integriti filem yang lebih bersih.
Untuk photoresist, lampu yang sama mengendalikan soft bake dan hard bake dengan kebolehulangan suhu yang ketat, meningkatkan kekasaran tepi garis dan mengurangkan kecacatan. Dalam pembungkusan, mereka memberikan penyembuhan yang cepat dan seragam yang mempendekkan masa kitaran sambil menggunakan tenaga yang lebih sedikit. Hasilnya adalah hasil yang lebih tinggi, prestasi yang boleh diramal, dan gangguan penyelenggaraan yang lebih sedikit.
Apa yang perlu anda rancang
Lampu-lampu ini memerlukan profil kuasa yang khusus dan penggabungan terma yang tepat kepada tahap sasaran. Mereka akan berintegrasi dengan kebanyakan peralatan semikonduktor standard, tetapi anda perlu mengesahkan toleransi integrasi semasa pemasangan untuk mengelakkan titik panas dan mencapai keseragaman yang dinyatakan.
Rancang satu larian commissioning yang pendek untuk mengunci kadar ramp dan masa bertahan untuk resipi tepat anda.