자동 웨이퍼 건조 히터

생산 현장에서는, 단 한 점의 습기나 포토레지스트의 결함만으로도 전체 웨이퍼의 품질이 망가질 수 있습니다. 열처리 과정에서야 비로소 제품의 품질이 유지되거나 혹은 저하됩니다. 우리는 웨이퍼 건조, 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정을 위해 이러한 자동화...