웨이퍼 백 그라인딩 지원 히터

300mm 라인에서 웨이퍼 얇게 만들기는 다이싱 직전에 발생하며, 여기서 열응력이 수율 손실로 이어진다. 백그라인딩 중 지지 히터가 드리프트하거나 스파이크가 발생하면 얇은 웨이퍼에 균열이 생기고, 이는 이후 미세 균열로 발전하여 고장을 유발한다. 당사는 이러한 불확실...