왜 반제품 가공 과정에서 열풍 가열 대신 적외선 가열을 사용하는가? 열풍 순환 방식을 사용해본 적이 있다면 그 과정이 어떤지 잘 알 것입니다. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 부품을 가열하기를 기다립니다. 반도체 가공 과정에서는 이 중간 단계인 공기가 엄청난 시...

출혈을 멈추는 방법: 왜 팹에서는 석영 차단재가 필요한가? 만약 팹에서 고출력 가열 램프를 다룬 적이 있다면 그 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 열은 원하는 곳으로만 가는 것이 아니라 주변으로 퍼져나갑니다. 계획 없이는 그 적외선 에너지가 웨이퍼뿐만 아니라 장비의 내...

상황이 불안정해질 때도 장비를 안전하게 보호하는 방법 반도체 제조 업계에서 일한다면, 화학적 세척이 필수적이라는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 하지만 그러한 유기 용매들은 안전 측면에서 큰 위험 요소가 됩니다. 여기에 표준적인 적외선 램프까지 추가된다면, 사실상 화재...

스마트 팩토리에서 적절한 온도 조절 방법 만약 여러분이 인더스트리 4.0 환경으로 전환하려 한다면, 이제는 기존의 열 처리 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 구식의 대류식 가열 방식은 매우 느립니다. 마치 촛불로 집을 따뜻하게 하는 것과 같아서,...

팹 내에서는 포토레지스트가 온도에 매우 민감합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 1°C만 변해도, 웨이퍼의 치수가 정확한 값에서 벗어나게 되며, 에칭 성능도 저하됩니다. IR 가열 단계를 일반적인 열원으로 취급한다면 문제가 생길 수 있습니다. 실제로...