클래스 100의 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 단순히 온도만 고려해서는 안 됩니다. 클래스 100 환경에서는 아주 작은 먼지 한 알도 치명적인 위협이 됩니다. 그 먼지 하나만으로도 몇 초 만에 전체 칩들이 파괴될 수 있습니다. 그래...

리소그래피 라인에서, 2°C 차이만으로도 소프트 베이크가 포토레지스트의 열적 허용 범위를 크게 벗어나게 된다. 솔벤트 잔류가 증가하고, CD(크리티컬 치수) 균일성에 영향을 준다. 이 차이가 양품과 스크랩을 가르는 경계다. 당사는 이러한 변동성을 제거하기 위해 적외선...